一、設備簡介：

　　采用準零剛度隔振技術並配合精密步進電機調節，垂向固有頻率可低至0.4Hz;垂向剛度可調節設計，滿足不同隔振及穩定性要求;多自由度隔振能力，滿足不同方向隔振需求;自主開發的 UI軟件，可根據客戶設備及現場安裝條件進行調試，提供專(zhuan) 業(ye) 的解決(jue) 方案。

　　掃描電子顯微鏡、微硬度計、表麵粗糙度計、3D輪廓測量儀(yi) 、光學隔振平台、透射電鏡、掃描探針顯微鏡以及其他超精密測量儀(yi) 器及光學設備。

　　二、隔振降噪係統性能指標及各係統組成：