一、設備簡介：

　　1、音圈電機驅動，實現6自由度振動控製;

　　2、自主設計高精度傳(chuan) 感器實現自動調平以及實時;

　　3、自主設計高精度傳(chuan) 感器實現自動調平以及實動狀態實時監測;

　　4、無明顯共振放大現象，主動隔振起始頻率低至1Hz起，10Hz時即可實現95%以上的隔振效率;

　　6、多種工作台麵尺寸及安轉孔可選，滿足不同設備尺寸需求。

　　二、應用領域：

　　1、桌麵式SEM;2、共焦顯微鏡;3、原子力顯微鏡;4、高精度工具; 5、掃描探針顯微鏡;6、其他光學及電子設備

　　三、性能參數：