熱真空試驗箱常見故障的分析和解決(jue) 方式

　　1、常見故障問題

　　某一試件在做熱真空試驗時， 要求在真空度 2。X10-3 Pa時溫度下降至 - 55 ℃並保溫 2h， 通常狀態下此時的真空度會(hui) 優(you) 於(yu) 2X10-3Pa， 但在降溫 5min後， 出現了真空度突然下降到 2。5X10-2Pa的故障現象， 如圖 2所示。 為(wei) 此我們(men) 就按表 1進行排查。

　　2、 對故障現象的分析診斷與(yu) 清除

　　2。1、 斷開製冷控製 ， 製冷閥關(guan) 閉， 檢查真空計通訊接口有無鬆動， 分子泵轉速有無發生變化， 經檢查都正常， 說明真空機組的問題能夠清除。

　　2。2、 由於(yu) 高溫降溫階段出現真空曲線異常， 先觀察在常溫柔高溫狀態下高真空曲線是否能夠抵達高真空度要求， 該曲線顯示真空度能抵達 2X10-3Pa以上， 義(yi) 務正常， 說明從(cong) 主電源到各電磁閥的電氣線路正常， 電氣係統沒有問題。

　　2。3、 隻管電氣係統沒有問題， 但在 2X10-3Pa真空條件下通入液氮製冷時， 此故障發生說明故障應該發生在試驗箱製冷環節。 首先對箱體(ti) 各抽氣接口的螺絲(si) 擰緊， 在液氮入口處充入壓力0。5kg左右的氮氣， 觀察此時高真空規顯示值有細小變化。

　　2。4、 結合試驗箱的控製過程進一步確認故障原因。 由於(yu) 此設備熱沉采用壁厚1。5mm 紫銅板作腔體(ti) 料， 外部液氮盤管用整根長的紫銅控製作， 由於(yu) 熱脹冷縮， 在真空室內(nei) 沒有焊縫， 故判斷液氮進入熱沉的外部聯接處能夠有漏氣現象發生。 因此 能夠為(wei) 發生此故障的原因是電磁閥與(yu) 金屬波紋管連接真空室的連接處發生漏氣。

　　2。5、 將連接真空室的金屬波紋管拆開電磁閥發現其內(nei) 一塑料墊片因長時間高高溫試驗造成老化開裂， 對此電磁閥閥杆重新焊接， 在真空環境下對試驗箱體(ti) 熱沉充入液氮，真空度顯示抵達 2X10-3Pa以上， 試驗箱義(yi) 務正常。

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